2017-07-10
SEMI S2/S26準則定義出最低效能導向的安全性準則。這些需求的範疇包括可能的健康及安全危害，如機械、電氣、化學、游離與非游離輻射、防震、通風、環保及人因工程。此外還有許多其他供參考的SEMI準則或支援SEMI S2/S26的準則。部分清單如下所示。
S2 Evaluation to SEMI® 準則
由20項基本元素組成:
提供給使用者的文件
危險警告標籤
安全互鎖系統
緊急關機
電路設計
火災風險及防護
加熱化學槽
人因工程及人為因素
危險能量隔離
防震機械設計
自動物料搬運
環保考量
排氣通風
化學物質
游離輻射
非游離輻射及範圍
雷射
聲壓位準
人工審查 (安裝、操作、維護)